更新时间：2024-01-05 19:24
1569年，挂川城攻战中，又协助本多重次落城。
1572年，在三方原合战中再次立下大功，并得到家康的重赏。
1579年，家康的长子松平信康被迫在二吴城切腹。据说是已经被任命为天方山城守的服部半藏担当了信康的介错。但是半藏整个过程都伏地大哭，连刀都不能举起。但这种说法没有足够的史料支持。
天正十年年6月2日（1582年6月21日），织田家重臣明智光秀突然谋反，织田信长死于本能寺。史称本能寺之变，信长一死，围绕政权落入谁手的问题各大名之间展开了激烈斗争。本能寺之变时德川家康正在堺市（又称“堺港”），因急取近道需经伊势返回三河，这一次归程被家康称为“生涯第一艰难之旅”。一路都是半藏先行探路，再护送家康通过，才免遭危难，后称“神君伊势穿越”。家康回到三河国后，为表彰半藏的功绩，赐给其远江国八千石的领地。小田原之战后，家康移封关东，随行的半藏此时下属伊贺众已达二百余人。
1596年，半藏去世。并被安葬于安养院，这是当年半藏为少主松平信康建立的供奉寺院（後来改称西念寺），这也是对其一生忠义的认可。
伊贺众由著名的“三上忍”统领，即服部、百地和藤林。服部氏相当有名，因为他们志向高、眼界宽，敢于走出伊贺的崇山峻岭，去别处混饭吃，首领之一的服部半藏正成侍奉德川家康，屡建奇功，最终领八千石〔读如“担”，为容积单位，指粮食数量〕俸禄，成为产业较大的地主和政府官员。
1582年，本能寺之变爆发，织田信长因明智光秀叛变于本能寺战死。当时家康受邀在堺市游览，正准备赶回京都接受信长新的款待，突然先发京都的家臣本多忠胜前来禀报：“主公，出事了……”家康注目服部半藏，半藏利用手下忍者，很快就查明了消息的准确性——作为忍者集团，为主家打探各地情报本是不需要特别分派的任务。
当时京都附近都是明智及其党羽的部队，还有很多趁乱袭击落难武士的“山伏”〔即山贼，但大多由农民兼任〕，家康此行目的本是游山玩水，所以随从只有十余人，根本无法保障自己的安全。自度不免的家康当场就要自杀，却被半藏劝住了：“只要逃回三河国，就是咱们的地盘了。请交给我吧，我一定护送主公安全抵达！”
半藏所以会有如此自信，因为当时伊贺、甲贺的忍者集团都被织田信长剿灭，残余势力正藏在群山中嗷嗷待哺，半藏有把握将这些没饭吃的老乡招出来帮忙。因此商定的逃脱路线，是从京都附近的宇治川向西进入伊贺国，穿过伊贺的崇山峻岭，最后从伊贺国白子港坐船逃离。
德川家康迁都至江户城时，半藏负责江户城西门的警备、因此这个西门到德川幕府结束都还有‘半藏门’的称呼。
正成之长子正就在大坂城夏之阵之役战死，次子正重后来因事改易，服部家因而断绝。但正成创建的德川忍者集团，日后成为幕府公仪隐密集团，为幕府监视诸侯举动的利器，对于德川江户政权二百多年的安定有不可磨灭的功绩。
服部家是出自伊贺国的豪族。出侍室町幕府十二代将军足利义晴，室町幕府衰退后；父亲保长与松平清康（德川家康祖父）有来往而受清康征召，为赴松平家埋姓，改姓服部。
服部保长（1521----1576）
服部保长，为初代服部半藏。原侍奉足利义晴，离开伊贺后到了三河国仕奉松平氏，相继侍奉了松平清康、广忠、家康 三代。他也被认为是一名忍者，但真实的情形已无法考究。
服部正成（1542-----1596）
服部保长的长子服部正成继承了“半藏”，开始通称服部半藏（はっとり はんぞう）。正成有“鬼半藏”的称呼，被视为杰出的猛将，在侍奉德川家康时屡立战功。
正成虽被视为忍者但是以武士的身份立功、后世记载他的事迹多是率领忍者众进行放火等秘密活动。此外在本能寺之变时，因为在伊贺拥有地缘和人脉的关系，服部顺利地将家康经伊贺护送回三河，而立下大功。
德川家康开始将天正伊贺之乱中流离失散的伊贺忍者集合起来，组成伊贺同心军团，交予正成统领。德川家康迁都至江户城时，半藏负责江户城西门的警备、因此这个西门都还有半藏门的称呼。
服部正就（1571----1615）
正成的长子，服部正就在父亲死后、继续领导伊贺同心200人、同样与父亲有半藏和石见守的称呼。然而正就一掌有指挥权后就引来部下的不服，从此正就被废了兵权、改封领地。服部半藏一名看起来似乎只继承了三代，不过，正就的妻子是桑名藩主松平定胜的姐姐，他的儿子服部源右卫门正辰（1598----1672）也因而得以仕奉于桑名松平家。此外，正成长男的次子服部半藏正重（1573-----1651）也被松平家任为家老一职 。